マグネスケール(MAGNESCALE)



レーザスケール(Laserscale)
光波干渉計を超える信号波長138nmの高分解能スケール
レーザスケールは、1nmを超える高分解能の計測及び制御を容易に実現します。基準となるスケールは、ホログラム方式により達成される微細な格子と、外乱に対して安定で取付けやすさを実現した検出ヘッドにより、信号波長が138nmの高S/Nの信号を得ることができます(BSシリーズ)。さらに、自動補正機能をもつインターポレータを使用することで、17pm(17×10-6μm)までの超高分解能を得ることができ、ナノメートルからピコメートルを容易に得ることができます。

マグネスケール(Magnescale)
結露、油に強い
マグネスケールは、磁気式の検出原理を採用しているため、工作機械に不可避の結露や油の影響をうけず、厳しい環境下でも安定した高い精度を得ることが可能です。
耐振動、耐衝撃性
マグネスケールは、検出部を保護するためのケース材料として主に鉄製の部材を使用しているため、高い耐振動特性、耐衝撃特性を実現しています。さらにSR80シリーズでは、高剛性ケースに加え多点固定構造を採用しており、業界トップクラスの耐振動性、耐衝撃性を実現しています。

デジタルゲージ(Digital Gauge)
耐環境性が高い
マグネスケールと同様、磁気式の検出原理のため、厳しい環境下で安定しています。またスチール製の部材を使用しているため、耐久性が高いのが特徴です。

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電話番号045-211-6148  FAX045-330-0182
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